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廣東省工程技術(shù)研究中心
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GSL-1800X-ZF4 高真空蒸發(fā)鍍膜儀

應(yīng)用范圍:GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀,特別適合蒸鍍對(duì)氧較敏感的金屬膜(如Ti、Al Au等),也可蒸鍍各種氧化物材料。本機(jī)設(shè)有4個(gè)蒸鍍加熱舟,且每個(gè)蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實(shí)現(xiàn)對(duì)有機(jī)材料的蒸發(fā)鍍膜,可滿足發(fā)光器件及有機(jī)太陽(yáng)能電池方面的研究要求,是一款鍍膜效果理想且性價(jià)較高的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。

產(chǎn)品型號(hào) :GSL-1800X-ZF4

上架時(shí)間 :2019-08-20

安裝尺寸:650mm×1200mm×1600mm

重量:600Kg

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       GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀,特別適合蒸鍍對(duì)氧較敏感的金屬膜(如Ti、Al 、Au等),也可蒸鍍各種氧化物材料。本機(jī)設(shè)有4個(gè)蒸鍍加熱舟,且每個(gè)蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實(shí)現(xiàn)對(duì)有機(jī)材料的蒸發(fā)鍍膜,可滿足發(fā)光器件及有機(jī)太陽(yáng)能電池方面的研究要求,是一款鍍膜效果理想且性價(jià)較高的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。

 性能指標(biāo)和基本配置
主要特點(diǎn)

● 真空控制單元全部集合在一個(gè)控制盒內(nèi)。
● 采用獨(dú)立的蒸鍍電流控制器,操作方便快捷。
● 真空腔體設(shè)有1個(gè)KF40旁抽閥(直接與前級(jí)機(jī)械泵相連,方便快速取放樣品,提高效率)、1個(gè)CF150閘板 閥(直接與分子泵相連)、1個(gè)KF16法蘭(安裝電阻規(guī))、5個(gè)CF35法蘭(1個(gè)安裝電離規(guī),4個(gè)備用,便于安裝其他設(shè)備)。
● 在腔體底部配有5個(gè)水冷電極,可支持4個(gè)蒸鍍加熱舟。
● 4個(gè)蒸鍍加熱舟上方配有獨(dú)立的可移動(dòng)擋板,有效地避免蒸發(fā)時(shí)相互污染。
● 樣品臺(tái)安裝在腔體的頂部。
● 腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測(cè)厚儀,精度為10?。
● 可使用循環(huán)水冷機(jī)。
1

技術(shù)參數(shù)

● 輸入:?jiǎn)蜗郃C208-240V,20A,50Hz/60Hz,<10KW
● 輸出:0-8V AC 可調(diào),最大電流400A,最大功率8000W(包括真空泵)
● 真空腔:Φ300mm(內(nèi)徑)×400mm,不銹鋼,內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理
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● 腔門:Φ200mm
● 觀察窗:Φ95mm,采用專用密封圈密封
● 真空泵:高抽速渦輪分子泵,抽速600L/s(標(biāo)配GZK-103G分子泵)
● 真空度:5.0×10-6torr(泵開(kāi)啟40min后)
● 極限真空度:5.0×10-7torr (加熱溫度為100℃-150℃)
● 漏率:5.0×10-7Pa/s
● 樣品臺(tái):Φ140mm
● 蒸發(fā)舟與樣品臺(tái)間距:260mm
● 冷卻水需量:15L/min
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產(chǎn)品尺寸

650mm×1200mm×1600mm;

產(chǎn)品重量 600kg
保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)
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